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                无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度㊣、温湿度及压力等性能之特性。

                无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘□ 室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立◎方米空气中粒子直径大于划分标准∏的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘㊣ 并非100%没有一╲点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒ξ 相对于我们常见的灰尘已经是小的微◣乎其微,但是对于光学构造◇而言,哪怕╳是一点点的灰尘都会产生非常大的负Ψ 面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求▅。

                如表所示,每立方米将大于∞0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高︽标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立◣方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

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