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                净化车间

                 

                无尘室中不论外在之空∞气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净█度、温湿度及Ψ压力等性能之特性。

                无尘室最主要之作用在于控制︽产品(如硅芯片等)所接触之◣大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照↑国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大★于划分标准的粒子数■量来规定。也就是说所↙谓无尘并非100%没有一⌒点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中◎符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但◥是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

                如表所示,每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称√的1K级别。

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